材料信息：
無(wú)氧銅背板
無(wú)氧銅背板為使用最廣發(fā)的背板，其具有良好的導(dǎo)熱性和導(dǎo)電性，且易于加工。正常情況下銅背板可重復(fù)利用20次以上。
背板材料的選擇需考慮以下因素：
背板材料和靶材的熱傳遞性；
導(dǎo)電性；
抗冷卻水壓的機(jī)械性能及熱循環(huán)效果；
重復(fù)利用性。背板的作用:
在濺射過(guò)程中可支撐脆性靶材， 如陶瓷靶和軟金屬材料；
在濺射過(guò)程中起到熱傳遞的作用。
商品標(biāo)簽
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